- 壓力傳感器行業(yè)加快了壓阻式替代步伐
- MEMS技術(shù)逐步成為產(chǎn)業(yè)化技術(shù)主流
隨著測量技術(shù)的飛速發(fā)展，對傳感器提出了更高的要求，尤其在高精度的流體動力學(xué)測試中，要求傳感器具有良好的動態(tài)特性。為了不影響流場狀態(tài)，提高測量的精度，還需壓力傳感器具有極小和極薄的外形，傳感器的尺寸漸趨小型化。近二十年來，壓力傳感器行業(yè)明顯加快了壓阻式替代淘汰應(yīng)變式、厚膜陶瓷式壓力傳感器的步伐，MEMS（Micro electronic mechanical systems微機(jī)電系統(tǒng)）技術(shù)逐步成為產(chǎn)業(yè)化技術(shù)主流。
受自身技術(shù)條件限制， 國內(nèi)大多數(shù)壓力傳感器企業(yè)多把國內(nèi)外產(chǎn)硅MEMS OEM產(chǎn)品作為壓力傳感器的關(guān)鍵部件，組裝后再行銷售，進(jìn)入行業(yè)的門檻較低，資金運(yùn)轉(zhuǎn)快。但對有高難度要求的高檔傳感器，企業(yè)既買不到相應(yīng)的硅MEMS OEM產(chǎn)品，又不具備相應(yīng)設(shè)計(jì)與特殊制作技術(shù)，因此基本無法進(jìn)入這一細(xì)分市場。昆山雙橋傳感器測控技術(shù)有限公司充分利用其技術(shù)積累，從核心元件關(guān)鍵技術(shù)做起，基于MEMS微機(jī)械加工技術(shù)，自行研制的微型動態(tài)壓阻壓力傳感器能確保力敏硅膜片有效尺寸更小，固有頻率更高；此外，利用硅優(yōu)良的彈性力學(xué)特性，尤其是極高的楊氏彈性模量，加之低的電橋內(nèi)阻抗，不僅利于獲得高頻響，而且有低至亞微秒的上升時(shí)間及非常干凈的幅頻特性曲線，可廣泛應(yīng)用于要求傳感器尺寸小、對測試流場影響小、動態(tài)特性好的空氣動力學(xué)研究、風(fēng)洞測控試驗(yàn)等高端應(yīng)用領(lǐng)域。微型壓力傳感器產(chǎn)品在雙橋傳感器公司已形成系列化，主要產(chǎn)品有Ф2mm、Ф3mm、Ф5mm、Ф8mm，涵蓋了對水、氣、油等多種介質(zhì)的測量。該產(chǎn)品因技術(shù)領(lǐng)先性已經(jīng)榮獲2010年度中國電子學(xué)會電子信息科學(xué)技術(shù)獎三等獎。
汽車電子、新型數(shù)字消費(fèi)電子和醫(yī)療電子等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，對MEMS傳感器的各種新需求和基于該技術(shù)的創(chuàng)新不斷涌現(xiàn)，MEMS傳感器的市場機(jī)會逐步顯現(xiàn)。昆山雙橋傳感器測控技術(shù)有限公司的基于MEMS技術(shù)的汽車壓力傳感器已批量應(yīng)用于汽車電子產(chǎn)業(yè)。
