Atonarp推出創(chuàng)新計量平臺Aston,旨在提高半導(dǎo)體制造工藝的產(chǎn)量、吞吐量和效率
發(fā)布時間:2021-07-18 來源:Atonarp 責(zé)任編輯:wenwei
【導(dǎo)讀】北京 – 2021年7月16日 – 為半導(dǎo)體、保健和制藥行業(yè)提供分子傳感及診斷產(chǎn)品的領(lǐng)先制造商Atonarp今天宣布推出Aston,這是一個創(chuàng)新型原位半導(dǎo)體計量平臺,帶有集成等離子體電離源。
Aston是半導(dǎo)體生產(chǎn)計量領(lǐng)域中的一次重大演變,實現(xiàn)了原位分子過程控制,使現(xiàn)有工廠運行更高效,并可推動產(chǎn)出提升。Aston專為半導(dǎo)體生產(chǎn)而設(shè)計,它作為一個強大的平臺,可以取代多種傳統(tǒng)工具,并在一系列全面應(yīng)用中提供前所未有的控制水平,包括光刻、電介質(zhì)和導(dǎo)電蝕刻及沉積、腔室清潔、腔室匹配和消解。
“通過Aston,某些應(yīng)用中的單位工藝吞吐量可以提升40%以上,這是一個很大的改進。“對于一家典型的晶圓廠來說,即使整體產(chǎn)能提高1%,每年的產(chǎn)量也能增加價值數(shù)千萬美元。”Atonarp公司首席執(zhí)行官、首席技術(shù)官和創(chuàng)始人Prakash Murthy說,“在現(xiàn)有生產(chǎn)工藝工具上加裝Aston,可在短短6到8周內(nèi)實現(xiàn)更高產(chǎn)量,而安裝新的生產(chǎn)設(shè)備則需要長達(dá)一年的時間。這將從本質(zhì)上幫助制造商提高其生產(chǎn)水平,并有助于解決目前半導(dǎo)體晶圓廠產(chǎn)能不足的問題。”
快速、可操作的端點檢測(EPD)是運行半導(dǎo)體工具和晶圓廠的最有效方式。到目前為止,許多工藝步驟都無法部署EPD,因為所需的原位傳感器不能經(jīng)受住苛刻的工藝或腔室清潔化學(xué)品的影響,或者會因冷凝水沉積而出現(xiàn)堵塞。因此晶圓廠不得不設(shè)定特定時間,以確保過程徹底執(zhí)行完畢。相反,Aston通過準(zhǔn)確檢測一個過程何時結(jié)束來優(yōu)化生產(chǎn),包括腔室清潔,這可將所需的清潔時間減少80%。
Aston對腐蝕性氣體和氣態(tài)污染物冷凝物具有抵抗力。它比現(xiàn)有解決方案更堅固,具有獨立的雙電離源(一個經(jīng)典的電子沖擊電離源,和一個無燈絲等離子體電離器),因此可在半導(dǎo)體生產(chǎn)中出現(xiàn)的惡劣條件下可靠運行。這使Aston能夠原位,即在傳統(tǒng)電子電離器會迅速腐蝕和失效的苛刻環(huán)境中使用。
與傳統(tǒng)質(zhì)量分析儀相比,Aston的服務(wù)間隔時間延長了100倍。它擁有自清潔能力,可以清除某些過程中產(chǎn)生的冷凝物沉積。
由于Aston能夠自主產(chǎn)生等離子體,無論是否存在過程等離子體,均可正常運行。這與光學(xué)發(fā)射光譜測量技術(shù)相比具有明顯的優(yōu)勢,后者需要等離子體源方可操作,這使Aston成為ALD和某些金屬沉積工藝的理想選擇,這些工藝可能會需要使用較弱的、脈沖等離子體,或無需等離子體進行處理。
Aston還能夠通過提供量化、可操作的實時數(shù)據(jù)來提高過程一致性,并可通過人工智能推進高性能機器學(xué)習(xí),滿足最苛刻的過程應(yīng)用。除此之外,得益于實時數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析和腔室管理的高精確度、靈敏度和可重復(fù)性,生產(chǎn)線和產(chǎn)品產(chǎn)量也得到了提高。
Aston主要針對化學(xué)氣相沉積(CVD)和蝕刻應(yīng)用,這兩種應(yīng)用的年增長率均超過13%。該光譜儀既可在新腔室組裝時安裝在其中,也能夠加裝在已經(jīng)運行的現(xiàn)有腔室中。
Aston還可與韓國ATI公司開發(fā)的智能壓力控制器Psi組合使用。在經(jīng)歷了為期數(shù)月的全面技術(shù)可行性評估后,這一組合解決方案最近出售給三星公司,用于一個先進的過程控制應(yīng)用。
Aston已可直接于Atonarp,或通過Atonarp的全球合作伙伴網(wǎng)絡(luò)進行評估和訂購。
關(guān)于Atonarp
Atonarp持續(xù)引領(lǐng)生命科學(xué)、制藥和半導(dǎo)體市場分子傳感與診斷技術(shù)的數(shù)字化轉(zhuǎn)型。在統(tǒng)一軟件平臺以及光學(xué)和質(zhì)譜技術(shù)突破性創(chuàng)新的支持下,Atonarp產(chǎn)品提供實時、可操作、全面的分子特征分析數(shù)據(jù)。在一個由半導(dǎo)體、生命科學(xué)和健康診斷儀器開發(fā)及商業(yè)化領(lǐng)域世界級專家組成的團隊的領(lǐng)導(dǎo)下,Atonarp在日本、美國和印度等國均已設(shè)立分部。敬請登陸https://atonarp.com,并了解更多信息。
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